X射線光電子能譜儀
儀器名稱：X射線光電子能譜儀
儀器型号：AXIS SUPRA+
生産廠家：日本島津有限公司
儀器簡介：X射線光電子能譜儀主要用于固體表面和界面的化學信息，可以分析除氫、氦以外的所有元素，包括元素種類及價态，并可以提供測定元素相對含量的半定量分析。XPS與成像功能和離子濺射刻蝕相結合，可以用于固體表面元素成分及價态的面分布和深度剖析。XPS在各類功能薄膜的機理研究、納米材料、電子材料、高分子材料、材料的腐蝕與防護、催化劑研究與失效分析等方面廣泛應用。
出廠主要技術指标：
1、單色化X光源：加速電壓15kV；最大功率和最大束斑下，單位面積上的X射線功率不大于0.4mW/μm2
2、AI單色XPS指标：大束斑能量分辨和靈敏度0.45eVe160kcps、0.5eV@650kcps、0.6eV@2.5Mcps；最小束斑(15～20μm)；最佳能量分辨和靈敏度：0.5eV@1.5kcps、0.6eV@6kcps；
3、單色化高能XPS指标：Ag單色X射線源；大束斑能量分辨0.9eV，大束班能量分辨和靈敏度5kcps；
4、Al/Mg非單色化X光源：水冷Al/Mg雙陽極；功率不小于450W(15kV@30mA)；
5、Al/Mg非單色XPS指标：大束斑能量分辨和靈敏度0.8eV@800kcps；最小束班(015～20μm)最佳能量分辨和靈敏度1.0eV@10kcps；
6.選區XPS和平行成像XPS：選擇性分析區域束斑大小：15μm至大束斑(200μm以上)；
6.2平行成像XPS空間分辨(銳利刀口樣品，線掃描強度80%～20%的寬度):1μm。
送樣要求：
1、樣品可以為粉末樣品、薄膜樣品或塊狀樣品。其中：粉末樣品粒度要盡量細，50mg左右即可；薄膜及塊狀樣品做好标記，說明測試面，塊狀樣品尺寸小于5*5*2(mm)（高度不應超過2mm，最好控制在1mm以内）。
2、 盡量保持樣品幹燥，表面清潔無污染，對于大量放氣，尤其是多孔粉狀樣品，進儀器前應先真空烘幹，密封保存送樣。
3、氫元素不能檢測，不檢測含單質硫、碘、氟、溴的樣品。
4、禁止送有磁性、毒性以及放射性樣品。
5、禁止送易揮發，在超高真空狀态下大量放氣的樣品，尤其是具有腐蝕性氣體的樣品。
6、對于高分子、有機物等不耐轟擊的樣品請慎重測試
7、UPS測試樣品必須新鮮、導電。